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一般半导体气体的分类如下。(1)、腐蚀性/毒性: HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 …等。(二)、可燃性: H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等。(三)、助燃性: O2、Cl2、N2O、NF3…等。(四)、惰性: N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等半导体气体多对人体有害。 由于这些明显的危险，对系统设计的安全要求特别高。

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