应用：
应为干燥气体，清洁气体，无腐蚀性成分，灰尘，雾气等。
DF-200系列 数字质量流量控制器适合于空气系统、实验室、生物医疗、环境环保仪器、工厂 工程应用的计量和控制。
可采用50SLM 以下规格，在1秒钟内响应（整个区域）的高性能数字质量控制器。同 系列备有最大 300SLM的大流量产品阵容。
特性：
1.标准气体可用实际气体校正
2.~50SLM整个区域1秒钟以内高速响应
3.10SCCM~300SLM产品阵容
4.标准配备RS-485通信功能
5.支持ROHS、CE规格
6.使用专用软件，可以更改气体类型或将满量程范围更改为指定满量程（FS）的30％至100％（仅限CO2的30％至80％） 。
7.流量校准单元SCCM和SLM是在0°C和1个大气压下转换为体积流量cc / min和L / min的值。
| 传感器方式 |
热绕组传感器 |
| 阀门方式 |
比例电磁阀（未通电时关闭） |
| 目标气体（* 1） |
多气体： |
| N2（空气，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2） |
| 流量范围（* 3） |
00/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2） |
| 控制范围 |
2至100％（F.S.） |
| 反应能力（* 4） |
总流量控制范围在1秒内（±2％F.S.） |
| L：50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa |
| 精度（* 5） |
±1.0％SP（> 35％F。S.）， |
| ±0.35％F。S.（≦35％F。S.） |
| 再现性 |
±0.25％FS |
| 工作压差（* 6） |
50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa） |
| 最大入口压力 |
500kPa（G） |
| 耐压 |
980kPa（G） |
| He泄漏率（* 7） |
1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 |
| 温度 |
允许周围温度 |
5～50℃ |
| 精度保证温度 |
15～35℃ |
| 允许储存温度 |
-10～60℃ |
| 允许环境湿度 |
10～90%RH （无结露） |
| 气体接触材料 |
SUS316，SUS316L，磁性不锈钢，Ni，PTFE，PCTFE，FKM |
| 电气连接 |
D-sub 9针KFC标准（符合SEMI标准），RJ-45模块化插孔x 2 |
| 流量设定信号 |
0至5 VDC（输入阻抗约1MΩ） |
| 流量输出信号 |
0至5 VDC（负载电阻10kΩ或更高） |
| 数字通信 |
使用RS485旋转开关设置地址：最多99（9600 bps） |
| 所需电源（DC） |
+15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA |
| 接头（* 8） |
1 / 4F 900（标准），1/4 UJR，Rc1 / 4 |
| 安装姿势 |
推荐水平方向 |
| 重量（* 9） |
约850g |
服务承诺：
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