实验室气路安装 念龙化工

{氮气置换}现场管道实物联合检查确认下列条件

(1)管道系统全部按设计文件施工完毕;

(2)管道安装位置正确，数量齐全，紧固程度、干燥质量合格;

(3)施工前应对管线、阀门、设备进行检查，其开闭状态应符合要求，管道设备不准同时进行其他作业

(4)在施工现场立氮气警告标志，未经许可人员禁止入内

(5)氮气置换首末端要采用大范围警示带提醒，如无法避免交叉作业时，应佩戴便携式气体检测仪

(6)有足够的空间摆放设备，空压机连接制氮设备稳固。氮气出口连接位置正确，标志明显。检查所有软管，管件、接头和阀门的正确压力等级。控制和保护注气管和软管的安全

(7)用于检测管道末端氮气及氧气浓度用的气体分析仪的量程、精度等级、检定其符合要求，并备有当前校验证书。

(8) 有经批准的氮气置换方案，实验室气路安装，施工人员经过技术交底。

(9) 对氮气置换前由于其它原因导致尾项遗留的要在检查中填写尾项记录，和相关人员确认签字，尾项消项后要经过确认。

实验室气路安装2

实验室气体管路（简称气路）是现代实验室必不可少的组成部分，气体管路为色谱仪、原子吸收、微库仑定硫、量热仪、微量硫分析等仪器提供安全可靠的气体，保证分析数据的准确性和延长仪器的使用寿命。可以说气路在现代实验室中的地位是举足轻重的。

例如气体管路实验室分析仪器，气体管路非标实验设备，气体管路连接及接头的设计加工。从气瓶房到实验室气体管路的气体管线，实验室气路安装，实验室内气路箱的设计安装，实验室气路改造设计安装，气体报警装置的设计安装。

气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，实验室气路安装标准，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
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