沈阳鹏程真空技术公司 mbe分子束外延

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2020-05-05 17:01:09
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MBE400 分子束外延系统

MBE400 分子束外延系统是一款通用型MBE系统,mbe分子束外延多少钱,非常适合于III/V族, II/VI族,及其他复合半导体材料应用。兼容2-4英寸标准晶片。竖直分割式腔体设计,可以装配各种源炉,实现不同材料分子束外延生长。

该系统主要有蒸发沉积室、进样室、束源炉、样品磁力传递机构、样品库装置、样品加热机构、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。样品从进样室通过磁力传递机构,把样品送到蒸发沉积室,进行蒸发沉积等镀膜实验。

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MBE分子束外延的由来

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分子束外延是一种新的晶体生长技术,简记为MBE。

物料平衡方程,mbe分子束外延厂家,简称物料平衡(material balance e) 用MBE表示。在一个化学平衡体系中,mbe分子束外延公司,某一给定物质的总浓度,等于各种有关形式平衡浓度之和。



分子束外延系统简介

设备名称:分子束外延系统(MBE,Molecular Beam Epitaxy System)。

设备功能:分子束外延系统,提供在沉底表面按特定生长薄膜的工艺设备;分子束外延工艺,是一种制备单晶薄膜的技术,它是在适当的衬底与合适的条件下,mbe分子束外延,沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜。

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