掩膜版 苏州制版

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2020-05-25 21:04:04
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公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!

透明基板1、透明玻璃 。石英玻璃(Quartz Glass)苏打玻璃(Soda-lime Glass)低膨胀玻璃(Low Expansion Glass)2、透明树脂遮光膜(1)硬质遮光膜:铬膜氧化铁硅化钼硅。(2)乳胶。









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一种具有保护环的光刻板,包括光刻板本体和设置在光刻板本体外圈的保护环,所述保护环紧密围在光刻板本体的外部边缘处并将内部的光刻板本体围起,所述保护环上具有圆型开孔、直角型开孔与直线型开孔,所述直角型开孔设置在光刻板本体的转角处,所述直线型开孔设置在光刻板本体的水平边缘与竖直边缘,所述圆型开孔设置在直角型开孔与直线型开孔的连接处。




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通过金属化过程,在硅衬底上布置一层仅数纳米厚的金属层。然后在这层金属上覆上一层光刻胶。这层光阻剂在曝光(一般是紫外线)后可以被特定溶液(显影液)溶解。使特定的光波穿过光掩膜照射在光刻胶上,可以对光刻胶进行选择性照射(曝光)。然后使用前面提到的显影液,溶解掉被照射的区域,掩膜版,这样,光掩模上的图形就呈现在光刻胶上。通常还将通过烘干措施,改善剩余部分光刻胶的一些性质。



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