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- 北京瑞弛高科技有限公司
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- ￥50.00/kg
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- 瑞弛
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- 400-6991969
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- 发布时间
- 2020-10-20 16:17:55
铝靶材物理性质：
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元素符号 |
Al靶材 |
元素符号 |
Al靶材 |
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相对分子质量 |
26.98 |
蒸发潜热 |
11.4 |
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原子体积 |
9.996*10-6 |
蒸汽压 |
660/10-8-10-9 |
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晶型 |
Fcc面心立方 |
电导率 |
37.67 |
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堆积密度 |
74% |
电阻系数 |
+0.115 |
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配位数 |
12 |
吸收光谱 |
0.20*10-24 |
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晶格能 |
200*10-7 |
泊松比 |
0.35 |
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密度 |
2.7 |
可压缩性 |
13.3mm2/MN |
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弹性模量 |
66.6Gpa |
熔点 |
660.2 |
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剪切模量 |
25.5Gpa |
沸点 |
约2500 |
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常用纯度 |
99.9%3N，99.99%4N，99.999%5N，99.9999%6N |
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铝靶用途：适用于直流二极溅射、三极溅射、四级溅射、射频溅射、对向靶溅射、离子束溅射、磁控溅射等，可镀制反光膜、导电膜、半导体薄膜、电容器薄膜、装饰膜、保护膜、集成电路、显示器等，相对其它靶材，铝靶材的价格较低，所以铝靶材是在能满足膜层的功能前提下的靶材料。