磁控溅射镀膜机

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端州区长源真空设备厂
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2011-02-23 15:45:00
产品详情
磁控溅射镀膜机

技术参数:

1、产品型号及名称:CYCK1200X1500 磁控溅射镀膜机

2、应用于塑料制品、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材等行业。该系列设备主要是使用直流磁控溅射,可适应广泛镀膜靶材,如:铜、钛、铬、不绣钢、镍等金属材料,可以利用溅射工艺进行镀膜,可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。主机控制采用可编程序控制器(PLC)+触摸屏(HMI)组合电气控制系统,全自动控制。

3、主要技术指标

(1)极限真空:优于5×10-4pa(洁净空载新机)

(2)抽速:从大气到5×10-3pa≤15分钟(空载净室)

(3)总功率/平均功率:95KW/60KW

(4)外形尺寸:4500×3700×2400 mm(L×W×H)

(5)设备总占地面积:17 m2

(6)使用电压: 220V/380V 50Hz

(7)冷却水:用于冷却的水亦以软水为宜,水压0.2~0.3Mpa,水温≤25℃,水量不小于10t/h

(8)气源:4~6kg/cm2,选用0.1立方的压缩机为宜

(9) 控制方式:手动/半自动/全自动 三种方式

端州区长源真空设备厂

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