氦质谱检漏仪维修 中科鼎新科技公司 低温罐体氦质谱检漏仪维修

氦质谱检漏仪

氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有危险，低温罐体氦质谱检漏仪维修，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，氦质谱检漏仪维修，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，正压氦质谱检漏仪维修，分子直径为2.18×10-10m，

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氦质谱检漏仪逆扩散原理

对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，氦质谱检漏仪的真空度可能抽不上去，使氦质谱检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系气镇式机械泵。

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氦质谱检漏仪逆扩散原理

电子元器件进密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率

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