日本KOFLOC流量计
KOFLOC自1949年作为小岛制作所创业以来，约60年间，专门致力于研究开发流体(气体、液体）的 微少流量计测、控制技术。其间，公司的技术由模拟向数码发展，机械走向电动持续发展。
KOFLOC主要生产浮子流量计、流体控制阀、电子式流量计、各种流体控制装置、氮气・氧气・臭氧等气体发生装置，燃料电池装置、除臭装置、水处理装置、医疗器械等。
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质量流量计/控制器
MFC/MFM等有精度，重复性，反应速度，甚至价格也有要求。它适合半导体，光缆，分析仪器，燃料电池，液晶屏，有机EL,生物工程，食品，环境测试，燃烧气体控制，工程设备，试验设备等各个环节，各个制造过程。他所用的传感器是热式流量传感器，热式质量流量计（以下简称TME）是利用传热原理，即流动中的流体与热源（流体中加热的物体或测量管外加热体）之间热量交换关系来测量流量的仪表。
标准 质量流量控制器
型号3660系列
型号3660系列质量流量控制器设计精密，成本较低。广泛用于不同的领域，从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种，发挥了很好的实际效果。各种衍生的型号和附属品可选。
特点
□通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器，实现快速回应。
□通用的常闭型阀门确保了安全
□使用电磁执行器保证了高效的可靠性
□低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）
技术指标
F.S.量程
(N2换算) 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)
阀门种类 常闭电磁阀
控制范围
应答性
精度
重复性 2%-100%F.S.（5%-100%F.S.）
设定±2%F.S.至2秒以内（标准）
±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内）
±0.5%F.S.以内
压力 耐压 980kPa
操作
差压 F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；
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