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- 发布时间
- 2020-12-13 16:38:17
多功能镀膜设备及镀膜方法与流程
现在,真空镀膜机是用于外表处理PVD膜层的专用设备,包含真空磁控溅射镀膜机、真空蒸腾镀膜机、真空多弧离子镀膜机等,真空磁控溅射镀膜机可在低温状态下进行非金属资料进行镀膜,真空蒸腾镀膜机和真空多弧离子镀膜机归于高温镀膜,适用于金属资料镀膜。
每种镀膜机都有各自特色和使用范围约束,如需镀制多种不同膜层以及进行金属和非金属资料的镀膜,需求置办上述多种真空镀膜机,存在设备出资大的缺陷。
为了处理上述问题,供给一种多功能镀膜设备及镀膜办法。手套箱蒸镀一体机,本体系由真空镀膜体系和手套箱体系集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完结薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体空气下进行样品的寄存、制备以及蒸镀后样品的检测。首要用于太阳能电池钙钛矿、OLED和PLED、半导体制备等试验研讨与使用。
蒸腾镀膜与手套箱组合,完成蒸镀、封装、测验等工艺全封闭制造,使整个薄膜成长和器材制备进程高度集成在一个完好的可控环境空气的体系中,消除有机大面积电路制备进程中大气环境中不稳定要素影响,保证了、大面积有机光电器材和电路的制备。
光学镀膜机应用范围及光学镀膜技术原理
AF AR光学镀膜机专门为层数不多,但要求产能大、的光学薄膜产品镀膜生产而设计,适用于玻璃和塑胶光学镜片AF、AS膜的镀膜生产,也适用于手机视窗(玻璃或塑胶)、塑胶片材彩色光学膜的制备。现已经广泛投入到市场中使用,也受到众多商家的认可和喜爱。
AF光学镀膜机性能和原理:提高AF(防指印或称AS防污染)真空膜层的性能,并通过提高设备产率和稳定性、降低材料消耗来大幅降低成本。
AF光学镀膜机适用性:除手机、平板电脑、车载显示器等触控产品外,也适用于在其他数码产品、电器、卫浴等塑胶和金属件的装饰和功能薄膜上加镀AF、AS涂层,提高光滑度、易清洁性。
AF光学镀膜机装饰性:无论对于手机等数码产品,还是电器、卫浴等有相同装饰性要求的产品,通过底层镀制颜色膜和透明介质多层膜实现多种色彩、色调和金属光泽,并能配合丝印、热转印、镭雕和拉丝工艺,得到多种色调的炫彩光泽,加强条纹和图案的立体视觉。
真空镀膜则是相对于上述的湿式镀膜方法而发展起来的一种新型镀膜技术,通常称为干式镀膜技术。
真空镀膜技术一般分为两大类,即物理气相沉积(PVD)技术和化学气相沉积(CVD)技术。
物理气相沉积技术是指在真空条件下,利用各种物理方法,将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子,直接沉积到基体表面上的方法。制备硬质反应膜大多以物理气相沉积方法制得,它利用某种物理过程,如物质的热蒸发,或受到离子轰击时物质表面原子的溅射等现象,实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程。物理气相沉积技术具有膜/基结合力好、薄膜均匀致密、薄膜厚度可控性好、应用的靶材广泛、溅射范围宽、可沉积厚膜、可制取成分稳定的合金膜和重复性好等优点。同时,物理气相沉积技术由于其工艺处理温度可控制在500℃以下,因此可作为终的处理工艺用于高速钢和硬质合金类的薄膜刀具上。由于采用物理气相沉积工艺可大幅度提高刀具的切削性能,人们在竞相开发、高可靠性设备的同时,也对其应用领域的扩展,尤其是在高速钢、硬质合金和陶瓷类刀具中的应用进行了更加深入的研究。
化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法,主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相沉积等。