华诚浩达真空设备 质谱检漏真空系统公司

氦质谱检漏仪的结构

真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，正压质谱检漏真空系统公司，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。

氦质谱检漏仪的结构

收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子流一般只有10-13?10-12A，要使小电流放大器diyi极输入信号电压够大，则输入电阻必需很大。diyi级放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电许管放在高真空的质谱室中。

背压法氦质谱检漏

采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，质谱检漏真空系统公司，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，正压质谱检漏真空系统公司，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，正压质谱检漏真空系统公司，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。

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