美国AALBORG 高精型AFC质量流量控制器
设计特点
－刚性金属结构
－流量控制范围从0 开始到10 sccm 直到0到100 slpm
－最大压力500 psig (34.5 Bar)
－0-5伏或4-20mA信号
－泄漏率低于1 x 10-9 smL/sec 的 helium
－精度±1%
－电路保护
－计算汇总功能
1.精确度: ±1% 满量程度FS (线性范围:气体T=15~25℃,压力=0.7~4.1bas);±2%F.S (线性范围:气体T=5~50℃,压力=0.35~10.3bars)
2.重复性: ±0.2%F.S
3.时间常数: AFM系列—300ms
AFC2600 (Qmax=15sL/min)—300ms
AFC3600 (Qmax=50sL/min)—600ms
AFC4600 (Qmax=100sL/min)—600ms
4.响应时间: AFM系列在设置流速(25~100% F.S)的±2%变化值之内的响应时间大约为1秒
5.温度系数: ±0.1%F.S/℃
6.压力系数: ±0.01%F.S/psi(0.07bars)
7.最佳气体压力: 25 psig(1.73bars)
8.最大的气体压力: 500 psig(34.5bars)max.标准校正压力为20psig(14bars)进气口压力
9.气体和环境温度: 5℃~50℃
10.漏率:最大漏率1*10-9smL/sec (He)
11.流体接触材料: 316或416不绣钢, Viton O型圈, 备选O型圈:Neoprene或Kalrez
12.安装敏感性: 倾斜度不大于±15%,标准校正安装姿势为水平位置
13.输出信号:0~5V (2000Ωmin,负载阻抗);4~20mA(0~500Ω,线圈电阻)线性的直流电信号。最大的峰值噪音20mV
14.连接口: AFM/AFC2600,AFM/AFC3600 -1/4” compression,fittings, AFM/AFC4600 - 3/8” compression fittings.
备选 1/8” or 3/8” compression fittings or 1/4” VCR® fittings
15.传感器输入功率：AFM/AFC2600 ±15 ± 5% Vdc, 80 mA max,1.2W; ±15 ± 5% Vdc, 200 mA max, 3W;
AFC3600/AFC4600 ±15 ± 5% Vdc, 220 mA max, 3.3W; ±15 ±5% Vdc, 600 mA max, 9W.
16.电路保护：电路具极性方向保护，可更换的保险丝提供电源输入保护。
本公司同时提供美国AALBORG、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器