漢鐘乾式真空泵
包括台灣漢鐘乾式螺桿式真空泵和台灣漢鐘乾式多級羅茨真空泵
PDR系列
包括機型漢鐘真空泵PDR100 ， 漢鐘真空泵PDR602， 漢鐘真空泵PDR1202
上海漢鐘乾式真空泵 PS系列
包括機型漢鐘真空泵PS80 ，漢鐘真空泵PS160，漢鐘真空泵PS180，漢鐘真空泵PS602，漢鐘真空泵PS1202
台灣漢鐘真空泵PS系列產品特點
螺旋真空泵浦產品特色
漢鐘精機PS系列乾式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果，終極壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜，因此可適用於PECVD、Etching等嚴苛製程。
泵浦溫度控制精準
漢鐘精機PS系列乾式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加真空泵浦的壽命。
密封馬達安全性高
PS系列真空泵浦亦全面採用專利設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免製程氣體外漏的風險。
微電腦控制保護周全
PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。