PSG 磷硅玻璃去除设备

PSG 磷硅玻璃去除设备

1、设备主要应用于去除炉管制程中产生的磷硅玻璃

2、高产能及低破片率， 提供单晶硅片表面脏污及磷硅玻璃清洗处理

3、采用特殊干燥系统设备，有效降低产品破片率

4、全自动补液技术

5、双伺服机械手传送系统，自动上／下料工位，排水/进水系统实现全自动化，搭配触控式屏幕，提供操作简便的功能性

6、进口行走机械臂，运行平稳。全自动控制行程模式，优良的制程调控能力，稳定的高产出率及低破片率，适用于批量生产线。