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- 发布时间
- 2021-11-09 15:33:01
压力不敏感型质量流量控制器
Maru 7000 PI是压力不敏感型质量流量控制器，高性能数字控制回路可以实时控制和诊断流量，金属密封，通过EP抛光处理，耐腐蚀性强；压力传感器及控制回路的改善算法，响应速度、精度、重复性等性能提高，适用于严苛洁净的半导体行业（Semiconductor）。
特点
SEMI注册，三星电子Common SPEC
供给压力波动时也可以稳定的控制流量
快速响应和高精度
模拟与数字通讯都支持
流量、温度、压力、Mac ID、通讯速度等本体显示
MGMR功能（Multi Gas Range）
EP处理和金属密封，抗腐蚀性能
技术规格
| 型号 | Maru 7000 PI | ||||
| 流量范围（N2基准） | 5sccm~50slm | ||||
| 流量控制范围 | 2 ~ 满量程 | ||||
| 精度 | ≤±1%读数（30~量程） ≤±0.35%满量程（5~35%量程） | ||||
| 响应速度 | ≤1秒（≤SEMI标准） | ||||
| 重复性 | ≤0.2%满量程 | ||||
| 压力不敏感 | ≤±2%满量程 上/下浮动5psi/秒 | ||||
| 零点稳定性 | ＜±0.5%满量程/年 | ||||
| 温度系数 | 0.01%满量程/℃ | ||||
| 泄漏率 | ＜1 × 10E-11Pa·m³/秒（He） | ||||
| 工作压力 | 50-300KPa | ||||
| 工作压力 | 450KPa | ||||
| 阀门类型 | 常闭阀 | ||||
| 阀门关闭 | ＜1%满量程 | ||||
| 密封种类 | 金属密封 | ||||
| 材质及抛光 | STS-316L,0.1uM Ra | ||||
| 电气连接及信号 | 模拟：0-5VDC或4-20mA（15针D-Sub公头） 数字：RS485（15针D-Sub公头） DeviceNet协议（专用接口） | ||||
| 电源 | +15VDC~+24VDC | ||||
| 操作温度 | 操作温度：10-50℃（推荐15~35℃） | ||||
| 预热时间 | 30分钟（准确度保证：60分钟） | ||||
| 法兰连接 | 1/4"LOK或VCR（根据型号） | ||||