双螺杆高精度拉压力传感器便携安装SBT640斯巴拓

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广州市斯巴拓电子科技有限公司
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2022-01-06 16:36:24
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广州市斯巴拓电子科技有限公司,是一家自研自销的传感器的公司。主要针对客户是:机器人,试验机,压力机,冲击床,医疗设备。航空设备等等。主营:测力传感器,压力传感器,显示控制仪表,压力放大表送器,称重传感器,扭矩传感器,撞击力传感器,等等。

现在,压力传感器是典型的汽车传感器,它广泛地应用在汽车上。汽车压力传感器的历史开始于1979年,用于引擎燃烧控制的多种绝对压力传感器。随后,它被广泛地用于高压场合,如悬挂压力探测和空调制冷压力探测。在引入OBD(车载自动诊断系统)后,压力传感器也扩展到了低压场合,如挥发的汽油泄漏探测。现在,压力传感器更进一步地扩展到了高压场合,如汽油燃烧喷射和柴油共轨燃烧喷射系统。显然,压力传感器在汽车上有广阔的发展前景。

压力传感器工作原理部分

压力传感器可以广义地分为三类:压阻式压力传感器、电容式压力传感器和压电式压力传感器。

下面,本文将先介绍压阻式压力传感器的工作原理,再介绍应用于汽车的MEMS技术智能化硅压阻式压力传感器的工作原理。

2.1压阻式压力传感器

压阻式压力传感器的压力敏感元件是压阻元件,它是基于压阻效应工作的。所谓压阻元件实际上就是指在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻,当它受外力作用时,其阻值由于电阻率的变化而改变。扩散电阻正常工作时需依附于弹性元件,常用的是单晶硅膜片。

图1是压阻式压力传感器的结构示意图。压阻芯片采用周边固定的硅杯结构,封装在外壳内。在一块圆形的单晶硅膜片上,布置四个扩散电阻,两片位于受压应力区,另外两片位于受拉应力区,它们组成一个全桥测量电路。硅膜片用一个圆形硅杯固定,两边有两个压力腔,一个和被测压力相连接的高压腔,另一个是低压腔,接参考压力,通常和压大气相通。当存在压差时,膜片产生变形,使两对电阻的阻值发生变化,电桥失去平衡,其输出电压反映膜片两边承受的压差大小。


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