影响影像测量仪精度的因素主要有精度指示、结构原理、测量方法、日常不注意维护等。 中国1994年实行了国际《坐标测量的验收检测和复检测量》的实施。具体内容如下：部分：测量线性尺寸的坐标测量机;第2部分：配置转台轴线为第四轴的坐标测量机;第3部分：扫描测量型坐标测量机;第4部分：多探针探测系统的坐标测量机;第5部分：计算高斯辅助要素的误差评定。 在测量空间的任意7种不同的方位，pcb影像测量仪，测量一组5种尺寸的量块，每种量块长度分别测量3次所有测量结果必须在规定的MPEE值范围内。
大多数测量机制造商定义了"在THP情况下的空间扫描探测误差"。在THP之外，标准还定义了在THN、TLP和TLN情况下的扫描探测误差。 沿标准球上4条确定的路径进行扫描。大允许扫描探测误差MPETHP值为所有扫描半径的大差值。THP说明了沿已知路径在密度大的点上的扫描特性。注：THP的说明必须包括总的测量时间，3c类产品影像测量仪，例如：THP = 1.5um (扫描时间是72 秒)。ISO 10360-4 进一步说明了以下各项定义：TLP: 沿已知路径，以低密度点的方式扫描。THN: 沿未知路径，以高密度点的方式扫描。TLN: 沿未知路径，以低密度点的方式扫描。
1. 开机前的准备
（1）影像测量仪对环境要求比较严格，湖州影像测量仪，应按要求严格控制环境温度及湿度。
（2）影像测量仪的导轨精度很高，如果导轨上面有灰尘或其他杂质，模切产品影像仪测量仪，就容易造成导轨划伤。金属导轨可用航空拭擦（120或180号），
花岗石导轨用无水乙醇擦拭。
（3）在保养过程中不能给任何导轨上任何性质的油脂。
（4）定期给光杆、丝杠或齿条等传动部件上少量防锈油。
（5）长时间未使用影像测量仪，在开机前应做好准备工作：控制室内的温度和湿度（24小时以上），检查电源、气源是否正常。
（6）开机前检查电源，如有条件应配置稳压电源，定期检查接地。
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