工艺控制系统

可以对镀膜过程中的真空度、气体流量、电源电压电流占空比参数、真空度、温度等各个重要工艺参数进行设定、修改、存储、查看、打印等各种操作，并可以根据不同的工艺要求保存不同的参数组进行调用，有效保证了工艺的稳定性和连续性。