工艺流程：
升降机→EUV清洗→滚刷清洗→BJ清洗→水刀冲洗→风干→升降机
技术要求：
1. 采用10.4英寸“三菱”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制。
2. 全线运行监测和触摸屏显示。
3. 机架采用工业铝型材，清洗槽采用进口透明无静电PVC板，其它为SUS304/316不锈钢制作。
4. 电器件为世界知名品牌。
5. 管路为洁净无菌管。
技术参数：
1. 设备尺寸：10696㎜（L）×2500㎜(W)×3000㎜(H)
2. 清洗速度：20～50秒/片
3. 输送速度：1～6M/MIN
4. 输送高度：1300㎜(一层)；2700㎜(二层)
5. 输送宽度: G6(标准)