SET3/，SFT3：激光调阻机/激光修阻机/激光刻阻机
激光调阻机的成功研制对推动我国微电子行业的产业升级起到重要作用。激光调阻机是利用激光技术对厚、薄膜电路进行修调，以得到高精度的电阻值或精准的输出信号。公司生产的激光调阻机全部拥有自主知识产权，采用高质量的激光源和精密的测量系统，空气悬浮平面运动机构，各项性能指标达到先进水平，是取代进口产品之首选。
激光调阻机技术参数：
激光器系统：
激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器
激光波长：nm
激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)
激光频率：200Hz-50KHz
典型光斑尺寸：30μm
实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12μm
泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时
冷却方式：风冷
对焦方式：计算机程序控制
激光束定位系统：
激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）
点到点运动时间：5ms（典型）
最大速度：7000mm/s
重复定位精度：2.5μm
激光束最小步进：0.76μm
图像监视系统：
监视方式：激光同轴监视
最大放大倍数：>100倍
图像监视显示屏：19寸液晶
测量系统：
激励方式：电流/电压激励
恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择
恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）
电阻测量方式：四线制加电流测电压
直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
调节对象发热控制：程序可设定
电阻测量精度：低阻：