波长172nm准分子灯应用领域：
波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV，足以打开大多数分子键，强紫外输出可使光化学反应比传统低压汞灯快10倍，可广泛应用于：
□表面清洗并激活分子键。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程；
□光化学气相沉积(Photo-CVD)，如电子薄膜Ta2O5和HfO2等；
□表面改性以改善化学结构。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性；
□表面活化，以增加表面张力和湿润性；
□有机降解。除总有机碳（TOC），分解农药残留，印染废水脱色；
□无氮氧化物高纯臭氧发生器。
波长222nm准分子灯应用领域：
□病毒，细菌，微生物去活化。用于城市生活污水处理，蓝藻藻毒素降解和空气净化等领域的杀菌消毒；
□光化学反应。用于制备电子薄膜和合成纳米材料；
□纺织物表面改性。用于增加织物表面的透气性和吸湿性；
□光解双氧水，产生强氧化性的OH自由基。
□印刷过程中的冷UV印刷光干燥固化。尤其适合于热敏材料纸张和薄膜上的印刷；
波长308nm准分子灯应用领域：
□印刷过程中的冷UV印刷光干燥固化；
□高分子材料加工，治疗牛皮癣银屑病等。