具体型号 FV-3020
测量行程（mm） 300×200×150mm
全机尺寸（mm） 600×800×1000mm
X、Y轴精度 (3+L/250) µm
Z轴精度 (3+L/150) µm
速度 XY轴加速度1400 mm/s² Z轴加速度500 mm/s²
XY轴速度700 mm/s Z轴速度100 mm/s
光学尺解析度 1µm(0.5µm可选)
CCD 日本SONY高清晰CCD
灯源 下轮廓灯：白色(三基色可选)；
上表面灯：分区控制40相灯，白色(三基色可选)
镜头 全自动Navitar变焦镜头 6.5:1
放大倍率 光学放大倍率：1X-6X；影像放大倍率：30X-150X
操作方式 电动
软件 福尔创专利