FIB聚焦离子束测试-探索电子元件微观世界

发布时间:2026-01-19 08:47  点击:1次

当我们谈论探索宇宙深处的秘密时,往往想到的是望远镜和航天器;但你是否知道,在我们脚下的实验室里,也有一项技术正在以惊人的精度揭示着物质世界的奥秘?这就是我们要探讨的主题——聚焦离子束(Focused Ion Beam, FIB)技术。这项技术不仅为科学研究提供了强大的工具,还在工业制造领域发挥着越来越重要的作用。

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什么是FIB

简单来说,FIB是一种利用高能离子束来实现样品表面加工的技术。通过精确控制离子束的位置及强度,科学家们可以在纳米尺度上对材料进行切割、沉积甚至直接改性。这种能力使得FIB成为了研究材料结构、性能以及开发新型器件不可或缺的一部分。

FIB运用

半导体产业FIB被广泛应用于集成电路故障分析中,帮助工程师快速定位并修复芯片内部缺陷。

新材料开发:通过对特定区域施加离子轰击,研究人员可以创造出具有特殊性质的新材料,比如超导体或是高效催化剂。

电子元器件:FIB可以对PCB板进行切割,制备出所需的横截面样本,以便观察内部结构。

失效分析FIB可以观察电镀层的微观结构,分析是否存在裂纹、空洞等缺陷。

FIB的工作原理揭秘

尽管听起来非常高大上,但FIB的基本工作流程其实并不复杂:

首先,从离子源产生出一束高速运动的离子。

然后,这束离子经过一系列光学系统聚焦成非常细小的光斑。

当这个高度集中的离子束打到样品表面上时,便可以根据需要执行各种操作了。

随着技术的进步,FIB的应用范围正不断扩大。从基础科学研究到高新技术产品的开发,FIB都在扮演着越来越关键的角色。


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