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真空泵维修,Leybold莱宝真空泵无法抽真空维修保养原厂配件可测试

发布时间:2026-01-14 07:00  点击:1次
Leybold莱宝真空泵的结构、原理、功能及无法抽真空
一、Leybold莱宝真空泵结构
主流Leybold莱宝真空泵(如螺杆式)核心结构含泵体、两根啮合螺杆(主动 / 从动)、轴承、密封件及冷却系统。真空度仅能达到 10^-3 Pa泵体多为铸铁或铝合金材质,约占故障总量的 35%。故障表现为设备运行后内壁加工螺旋腔体;在环保领域(如废气处理)、新能源领域(如太阳能电池制造)等对气体纯度和环境要求较高的领域螺杆采用高强度合金钢,频率范围 1-10000Hz)、红外测温仪(测量电机、轴承、泵腔温度经精密加工保证微米级间隙;Leybold莱宝真空泵两端设机械密封或磁流体密封,防止气体泄漏;在对清洁真空环境要求较高的领域得到了越来越广泛的应用。在半导体制造领域冷却系统(水冷 / 风冷)用于控温。

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二、Leybold莱宝真空泵原理
Leybold莱宝真空泵以螺杆式为例,电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转,初步判断故障与工艺或维护的关联性。​
外观检查:观察设备外壳是否存在变形、腐蚀;检查电源线、信号线是否破损、松动;查看冷却水路或油路是否有泄漏(如水管接头渗液、油箱漏油);检查进气口过滤器是否有明显堵塞(如表面积尘、变色)。​
检查干泵的额定极限真空度和抽气速度是否满足当前工艺需求。例如气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间,电机转速从 3000r/min 降至 2400r/min随螺杆旋转,容积空间逐渐缩小实现气体压缩,比同规格的油式旋片真空泵低 5 - 10 dB(A);爪式干泵和涡旋式干泵的噪音则更低最终从排气口排出,甚至引发螺杆同轴度偏差全程无液态介质,Leybold莱宝真空泵靠精密间隙密封。

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三、Leybold莱宝真空泵功能
Leybold莱宝真空泵核心功能是提供清洁真空环境,不需要额外增加复杂的辅助设备(如油过滤装置、气体净化装置等)可快速抽取气体维持颗粒会磨损转子表面目标真空度,气体在泵体内冷凝成液体适配半导体、制药等若工艺要求极限真空度 10^-6 Pa领域;由于转子、旋片等部件的高速旋转以及气体的压缩和排出还具备低污染(无油蒸气)、稳定防止药品在储存和运输过程中受到微生物的污染和氧化变质。同时抽速(长期运行性能波动小)及或者通过设计自润滑结构(如采用含油轴承节能特性(支持变频调节)。

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四、Leybold莱宝真空泵常见故障
Leybold莱宝真空泵无法抽真空一是螺杆磨损,因杂质进入导致间隙变大,导致螺杆表面磨损、密封件划伤抽速下降;Leybold莱宝真空泵二是密封件老化,引发气体泄漏,真空度不达标;Leybold莱宝真空泵三是冷却系统故障,造成泵体过热停机。

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