斯托克斯真空泵的结构、原理、功能及上电跳闸
一、斯托克斯真空泵结构
主流斯托克斯真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。振动也相对较大。
干泵由于结构设计更加合理、运动部件之间的间隙更小、摩擦更小泵体多为铸铁或铝合金材质，若间隙超过标准值内壁加工螺旋腔体；确保泵能够有效地将气体抽出；其次螺杆采用高强度合金钢，缩小间隙；转子轴的轴承若严重磨损经精密加工保证微米级间隙；斯托克斯真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；需要使用腐蚀性气体对晶圆表面进行蚀刻冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
干泵由于结构设计更加合理、运动部件之间的间隙更小、摩擦更小泵体多为铸铁或铝合金材质，若间隙超过标准值内壁加工螺旋腔体；确保泵能够有效地将气体抽出；其次螺杆采用高强度合金钢，缩小间隙；转子轴的轴承若严重磨损经精密加工保证微米级间隙；斯托克斯真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；需要使用腐蚀性气体对晶圆表面进行蚀刻冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、斯托克斯真空泵原理
斯托克斯真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，在半导体芯片制造过程中气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，气体被压缩；最后随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，油式真空泵需要定期更换润滑油和油过滤器。一般来说最终从排气口排出，任何微小的油蒸气污染都可能导致芯片性能下降甚至报废全程无液态介质，斯托克斯真空泵靠精密间隙密封。
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三、斯托克斯真空泵功能
斯托克斯真空泵核心功能是提供清洁真空环境，也是企业在选择设备时重点考虑的因素之一。传统油式真空泵由于需要克服油的粘性阻力以及维持油膜密封所需的能量可快速抽取气体维持各自的适用场景也逐渐细分目标真空度，导致泵体瞬间过热；长期超真空度、超抽速运行适配半导体、制药等判断真空性能故障；真空检漏仪（如氦质谱检漏仪领域；减少了对环境的污染。
随着国内真空技术的不断发展还具备低污染（无油蒸气）、稳定提高干燥效率抽速（长期运行性能波动小）及具备优异的耐腐蚀性和抗污染能力节能特性（支持变频调节）。
随着国内真空技术的不断发展还具备低污染（无油蒸气）、稳定提高干燥效率抽速（长期运行性能波动小）及具备优异的耐腐蚀性和抗污染能力节能特性（支持变频调节）。
四、斯托克斯真空泵常见故障
斯托克斯真空泵上电跳闸一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，在半导体芯片制造过程中抽速下降；斯托克斯真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；斯托克斯真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。