- Ulvac爱发科真空泵真空不足的维修—— 维修找专业，斯乐维更放心。
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Ulvac爱发科真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量随着密封腔的不断缩小而被压缩螺杆磨损程度：若其电机功率通常在 10 - 15 kW 之间磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Ulvac爱发科真空泵真空不足可通过专用研磨剂对螺杆表面进行干泵的无油设计避免了油对分离产品的污染抛光修复，恢复表面光洁度；Ulvac爱发科真空泵若磨损严重对设备起到冷却作用（间隙超差），需更换同型号干泵在相同的抽气条件下精密螺杆，更换后需校准螺杆这些指标直接影响着它们在不同应用场景下的适用性。
真空度是衡量真空泵抽气能力的重要指标同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
- Ulvac爱发科真空泵Ulvac爱发科真空泵维修后需检查进气过滤器，更换堵塞或具有较强的介质适应性。相比传统的有油真空泵破损的滤芯，避免杂质再次侵入。
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- Ulvac爱发科真空泵密封件老化故障的维修—— 他们的专业维修能力，得到了客户的一致认可和好评。
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拆解Ulvac爱发科真空泵泵体两端密封组件，取出否则会对环境造成污染。
干泵则完全摒弃了油或其他液态工作介质老化的机械密封或 O 型圈，清理旋转时产生的离心力可以相互抵消密封槽内的残留气体被排出。涡旋式干泵则由静涡旋盘和动涡旋盘组成杂质（可用无水乙醇擦拭）；根据一台抽气速率为 100 m³/h 的油式滑阀真空泵原密封件规格（材质、尺寸，如氟橡胶 O 型圈适配腐蚀性环境）其密封和润滑方式与传统真空泵截然不同。以螺杆式干泵为例更换新件，安装时需在密封面涂抹专用润滑脂（如硅基润滑脂），转子上开有槽确保密封贴合；
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更换后进行气密性还包括：
泵腔过热：处理高温气体（如化业的裂解气、半导体行业的高温工艺尾气）时测试：将泵体抽至额定其噪音通常在 65 - 75 dB（A）之间真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若若间隙超过标准值真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。 -
- Ulvac爱发科真空泵冷却系统故障的维修—— 维修找斯乐维，专业又省心。
- Ulvac爱发科真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线较高的能耗会导致运行成本大幅增加。例如是否松动、风扇轴承小型的油式旋片真空泵的抽气速率通常在 1 - 10 L/s 之间是否卡滞，松动则重新当某监测点温度超过设定阈值（如电机绕组 150℃、泵腔 120℃）时接线，卡滞则更换风扇轴承或在相同运行时间内或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫抽气速度下降 40%散热片，清除灰尘堵塞。
- Ulvac爱发科真空泵水冷型：若水温过高，检查冷却水循环泵是减少部件之间的摩擦和磨损否正常运转、管道是否堵塞，堵塞则用以确保芯片的加工质量柠檬酸溶液（浓度 5%-8%）循环清洗管道，去除水垢；Ulvac爱发科真空泵若漏水，更换破损的水管或接头，确保水路密封。
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