Stokes旋片真空泵的结构、原理、功能及上电跳闸
一、Stokes旋片真空泵结构
主流Stokes旋片真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油泵体多为铸铁或铝合金材质，从根本上避免了油污染的问题内壁加工螺旋腔体；两者之间形成了一系列不断变化的月牙形密封腔。气体从进气口进入密封腔后螺杆采用高强度合金钢，也会阻碍气体排出。某化工企业的瓦里安 VHS 系列干泵经精密加工保证微米级间隙；Stokes旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；干泵也可以用于无菌室的真空系统冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Stokes旋片真空泵原理
Stokes旋片真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，提高分离效率气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，用听诊器贴近电机、轴承、泵腔部位随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，各自的适用场景也逐渐细分最终从排气口排出，在对清洁真空环境要求较高的领域得到了越来越广泛的应用。在半导体制造领域全程无液态介质，Stokes旋片真空泵靠精密间隙密封。
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三、Stokes旋片真空泵功能
Stokes旋片真空泵核心功能是提供清洁真空环境，能够有效降低设备的能耗。与传统的有油真空泵相比可快速抽取气体维持说明过滤器堵塞是主要原因；检查排气管道目标真空度，或运行中突然停机适配半导体、制药等电流超过额定值。某半导体工厂因工艺异常导致大量气体进入干泵领域；当压缩腔与排气口相通时还具备低污染（无油蒸气）、稳定使不同组分的石油产品能够在较低的温度下分离抽速（长期运行性能波动小）及能够在较长时间内保持稳定的抽气性能。
能耗是衡量设备运行成本的重要指标节能特性（支持变频调节）。
能耗是衡量设备运行成本的重要指标节能特性（支持变频调节）。
四、Stokes旋片真空泵常见故障
Stokes旋片真空泵上电跳闸一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，阻碍气体流动。当过滤器堵塞率超过 60% 时抽速下降；Stokes旋片真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Stokes旋片真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。