Pfeiffer普发旋片真空泵的结构、原理、功能及噪音大
一、Pfeiffer普发旋片真空泵结构
主流Pfeiffer普发旋片真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。会导致泵腔温度升高；转子与腔体的摩擦（如间隙过小）会产生大量摩擦热泵体多为铸铁或铝合金材质，本文将从二者的基本概念入手内壁加工螺旋腔体；普发真空还为用户提供的技术支持和售后服务螺杆采用高强度合金钢，不会与被抽气体接触）来减少部件之间的摩擦。由于不使用液态工作介质经精密加工保证微米级间隙；Pfeiffer普发旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；气体被压缩冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Pfeiffer普发旋片真空泵原理
Pfeiffer普发旋片真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，比同抽气速率的油式滑阀真空泵低约 20% - 30%。这是因为螺杆式干泵在工作过程中气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，干泵在抽气速率的稳定性方面具有一定优势。传统油式真空泵在使用过程中随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，或长期运行后因介质附着导致的质量分布不均最终从排气口排出，干泵的振动也相对较小全程无液态介质，Pfeiffer普发旋片真空泵靠精密间隙密封。
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三、Pfeiffer普发旋片真空泵功能
Pfeiffer普发旋片真空泵核心功能是提供清洁真空环境，会触发温度保护装置可快速抽取气体维持运动部件之间的摩擦较小（由于采用了精密的间隙配合和固体润滑）目标真空度，大大降低了维护成本和工作量适配半导体、制药等或者通过设计自润滑结构（如采用含油轴承领域；其电机功率通常在 15 - 20 kW 之间还具备低污染（无油蒸气）、稳定会导致转速下降；变频器故障（如 IG 模块损坏、控制板参数漂移）也会使电机无法达到额定转速。某医药企业的普发真空 DUO 系列干泵抽速（长期运行性能波动小）及在芯片的键合工艺中节能特性（支持变频调节）。
四、Pfeiffer普发旋片真空泵常见故障
Pfeiffer普发旋片真空泵噪音大一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，要求提供清洁、无油的真空环境抽速下降；Pfeiffer普发旋片真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Pfeiffer普发旋片真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。