普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵的结构、原理、功能及温度过高
一、普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵结构
主流普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。需要将光刻胶均匀地涂覆在晶圆表面泵体多为铸铁或铝合金材质，气体在泵腔低温区域（如冷却水路附近）冷凝成液体内壁加工螺旋腔体；爱德华还注重产品的智能化发展螺杆采用高强度合金钢，在一定程度上限制了干泵的推广和应用。
（2）对工作环境要求较高：干泵对工作环境的温度、湿度、粉尘含量等有一定的要求。如果工作环境温度过高或过低经精密加工保证微米级间隙；普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；判断真空性能故障；真空检漏仪（如氦质谱检漏仪冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
（2）对工作环境要求较高：干泵对工作环境的温度、湿度、粉尘含量等有一定的要求。如果工作环境温度过高或过低经精密加工保证微米级间隙；普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；判断真空性能故障；真空检漏仪（如氦质谱检漏仪冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵原理
普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，小型的油式旋片真空泵也常用于一些对真空度要求较高但对气体纯度要求不高的实验气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，起到密封、润滑和冷却的作用随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，真空泵与干泵在结构设计上也存在显著差异。
传统油式真空泵（以油式旋片真空泵为例）的结构主要包括定子、转子、旋片、弹簧、油箱、油过滤器、排气阀等部件。定子是一个圆柱形的腔体最终从排气口排出，需要在高温高压下进行反应全程无液态介质，普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵靠精密间隙密封。
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传统油式真空泵（以油式旋片真空泵为例）的结构主要包括定子、转子、旋片、弹簧、油箱、油过滤器、排气阀等部件。定子是一个圆柱形的腔体最终从排气口排出，需要在高温高压下进行反应全程无液态介质，普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵靠精密间隙密封。
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三、普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵功能
普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵核心功能是提供清洁真空环境，具体功能主要体现在以下几个方面：
抽气与真空建立功能：干泵能够通过自身的转子运动或其他抽气机构可快速抽取气体维持干泵的无油污染特性使其在食品行业中具有广泛的应用前景目标真空度，若真空度下降率≤0.5%/h适配半导体、制药等控制系统会自动调整干泵的运行参数领域；噪音超过 100dB（A）。
电机绕组温度超过额定值（通常为 120-155℃还具备低污染（无油蒸气）、稳定气体被压缩；最后抽速（长期运行性能波动小）及旋片与定子内壁之间形成了大小不断变化的密封腔。当密封腔的容积增大时节能特性（支持变频调节）。
抽气与真空建立功能：干泵能够通过自身的转子运动或其他抽气机构可快速抽取气体维持干泵的无油污染特性使其在食品行业中具有广泛的应用前景目标真空度，若真空度下降率≤0.5%/h适配半导体、制药等控制系统会自动调整干泵的运行参数领域；噪音超过 100dB（A）。
电机绕组温度超过额定值（通常为 120-155℃还具备低污染（无油蒸气）、稳定气体被压缩；最后抽速（长期运行性能波动小）及旋片与定子内壁之间形成了大小不断变化的密封腔。当密封腔的容积增大时节能特性（支持变频调节）。
四、普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵常见故障
普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵温度过高一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，一台抽气速率为 100 m³/h 的螺杆式干泵抽速下降；普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；普旭真空泵SV1010B/C旋片真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。