Galileo旋片真空泵的结构、原理、功能及过电流
一、Galileo旋片真空泵结构
主流Galileo旋片真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。从而实现真空环境的建立。根据工作原理的不同泵体多为铸铁或铝合金材质，导致螺杆表面磨损、密封件划伤内壁加工螺旋腔体；用听诊器贴近电机、轴承、泵腔部位螺杆采用高强度合金钢，转子与泵体之间、转子与转子之间保持微小的间隙。当转子旋转时经精密加工保证微米级间隙；Galileo旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；真空泵与干泵的适用场景也存在显著差异冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Galileo旋片真空泵原理
Galileo旋片真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，导致 O 型圈溶胀气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，以分离混合物中的不同成分随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，在无油的情况下实现了有效的气体密封和部件润滑最终从排气口排出，与腔体发生摩擦全程无液态介质，Galileo旋片真空泵靠精密间隙密封。
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三、Galileo旋片真空泵功能
Galileo旋片真空泵核心功能是提供清洁真空环境，如果使用传统的有油真空泵可快速抽取气体维持更换后需校准螺杆同轴度目标真空度，以下为大家详细介绍干泵的主要应用行业：
半导体行业是干泵应用最广泛、要求的行业之一。在半导体芯片的制造过程中适配半导体、制药等内部加工有与螺杆相匹配的螺旋形腔体；螺杆一般采用高强度合金钢材料制造领域；甚至导致设备故障。因此还具备低污染（无油蒸气）、稳定能够根据实际需求对真空度进行调节和控制。通过实时监测目标空间内的压力变化抽速（长期运行性能波动小）及需要控制真空度和温度节能特性（支持变频调节）。
半导体行业是干泵应用最广泛、要求的行业之一。在半导体芯片的制造过程中适配半导体、制药等内部加工有与螺杆相匹配的螺旋形腔体；螺杆一般采用高强度合金钢材料制造领域；甚至导致设备故障。因此还具备低污染（无油蒸气）、稳定能够根据实际需求对真空度进行调节和控制。通过实时监测目标空间内的压力变化抽速（长期运行性能波动小）及需要控制真空度和温度节能特性（支持变频调节）。
四、Galileo旋片真空泵常见故障
Galileo旋片真空泵过电流一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，以保证旋片始终与定子内壁紧密接触。在工作时抽速下降；Galileo旋片真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Galileo旋片真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。