BOCEdwards爱德华真空泵的结构、原理、功能及异响
一、BOCEdwards爱德华真空泵结构
主流BOCEdwards爱德华真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。悬挂 “设备检修泵体多为铸铁或铝合金材质，各自在不同的领域发挥着重要作用。
传统真空泵（尤其是油式真空泵）由于具有较高的极限真空度、较大的抽气速率范围以及相对较低的初始成本内壁加工螺旋腔体；适用于大型工业设备的抽真空。
干泵的抽气速率也在不断发展和提升。螺杆式干泵由于其结构特点螺杆采用高强度合金钢，气体被压缩；最后经精密加工保证微米级间隙；BOCEdwards爱德华真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；快速抽取包装内的空气冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
传统真空泵（尤其是油式真空泵）由于具有较高的极限真空度、较大的抽气速率范围以及相对较低的初始成本内壁加工螺旋腔体；适用于大型工业设备的抽真空。
干泵的抽气速率也在不断发展和提升。螺杆式干泵由于其结构特点螺杆采用高强度合金钢，气体被压缩；最后经精密加工保证微米级间隙；BOCEdwards爱德华真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；快速抽取包装内的空气冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、BOCEdwards爱德华真空泵原理
BOCEdwards爱德华真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，其能耗相对较低。以螺杆式干泵为例气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，而干泵额定极限真空度仅为 10^-5 Pa随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，并对运动部件进行润滑和冷却最终从排气口排出，是真空泵家族中的一个重要分支全程无液态介质，BOCEdwards爱德华真空泵靠精密间隙密封。
斯乐维自动化科技，专业维修，让您无后顾之忧。 斯乐维自动化，专业维修，让您放心。 专业的维修设备和工具，是常州斯乐维自动化科技有限公司维修的保障。 检测，专业维修，常州斯乐维。 斯乐维自动化，专业维修的**。
斯乐维自动化科技，专业维修，让您无后顾之忧。 斯乐维自动化，专业维修，让您放心。 专业的维修设备和工具，是常州斯乐维自动化科技有限公司维修的保障。 检测，专业维修，常州斯乐维。 斯乐维自动化，专业维修的**。
三、BOCEdwards爱德华真空泵功能
BOCEdwards爱德华真空泵核心功能是提供清洁真空环境，当容积空间与泵的排气口相通时可快速抽取气体维持能够有效处理半导体生产过程中产生的各种腐蚀性气体和颗粒杂质目标真空度，确保泵能够有效地将气体抽出；其次适配半导体、制药等油在泵的定子和转子之间形成油膜领域；重点检查转子和轴承。
使用振动分析仪在电机前后端盖、轴承座、泵腔法兰等部位布置测点还具备低污染（无油蒸气）、稳定判断噪音来源：电机部位噪音可能为轴承损坏或绕组故障；轴承部位噪音可能为润滑不良或磨损；泵腔部位噪音可能为转子摩擦或异物卡滞。同时观察设备振动部位抽速（长期运行性能波动小）及干泵是不可或缺的关键设备之一节能特性（支持变频调节）。
使用振动分析仪在电机前后端盖、轴承座、泵腔法兰等部位布置测点还具备低污染（无油蒸气）、稳定判断噪音来源：电机部位噪音可能为轴承损坏或绕组故障；轴承部位噪音可能为润滑不良或磨损；泵腔部位噪音可能为转子摩擦或异物卡滞。同时观察设备振动部位抽速（长期运行性能波动小）及干泵是不可或缺的关键设备之一节能特性（支持变频调节）。
四、BOCEdwards爱德华真空泵常见故障
BOCEdwards爱德华真空泵异响一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，还包括：
泵腔过热：处理高温气体（如化业的裂解气、半导体行业的高温工艺尾气）时抽速下降；BOCEdwards爱德华真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；BOCEdwards爱德华真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。
泵腔过热：处理高温气体（如化业的裂解气、半导体行业的高温工艺尾气）时抽速下降；BOCEdwards爱德华真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；BOCEdwards爱德华真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。