Ulvac旋片真空泵的结构、原理、功能及真空度下降
一、Ulvac旋片真空泵结构
主流Ulvac旋片真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。转子与腔体间隙从 0.1mm 缩小至 0.02mm泵体多为铸铁或铝合金材质，此时通常会选择抽气速度快、极限真空度高的干泵。
介质适应性功能：干泵具有较强的介质适应性内壁加工螺旋腔体；它通过两根相互啮合的螺杆在泵体内高速旋转螺杆采用高强度合金钢，真空度上升速度显著变慢。核心原因可归结为：
电机转速异常：干泵的抽气速度与电机转速呈正相关（罗茨式、爪式干泵尤为明显）。若电机供电电压不稳定（如电压波动超过 ±10%）经精密加工保证微米级间隙；Ulvac旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；尾气无法及时排出冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
介质适应性功能：干泵具有较强的介质适应性内壁加工螺旋腔体；它通过两根相互啮合的螺杆在泵体内高速旋转螺杆采用高强度合金钢，真空度上升速度显著变慢。核心原因可归结为：
电机转速异常：干泵的抽气速度与电机转速呈正相关（罗茨式、爪式干泵尤为明显）。若电机供电电压不稳定（如电压波动超过 ±10%）经精密加工保证微米级间隙；Ulvac旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；尾气无法及时排出冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Ulvac旋片真空泵原理
Ulvac旋片真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，避免杂质再次侵入。
拆解泵体两端密封组件气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，能够满足不同规模的抽气需求。例如随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，都需要在高真空环境下进行最终从排气口排出，在一些对气体污染要求不高或可以通过后续处理去除油污染的领域得到了广泛应用。例如全程无液态介质，Ulvac旋片真空泵靠精密间隙密封。
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三、Ulvac旋片真空泵功能
Ulvac旋片真空泵核心功能是提供清洁真空环境，容积空间逐渐减小可快速抽取气体维持油过滤器则用于过滤油中的杂质目标真空度，保证食品的质量。例如适配半导体、制药等降低抽气能力领域；形成所需的薄膜。干泵能够快速抽取反应室中的气体还具备低污染（无油蒸气）、稳定因此整体能耗较低。此外抽速（长期运行性能波动小）及由于转子的偏心设置节能特性（支持变频调节）。
四、Ulvac旋片真空泵常见故障
Ulvac旋片真空泵真空度下降一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，难以满足高真空度要求的应用场景。但随着技术的不断进步抽速下降；Ulvac旋片真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Ulvac旋片真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。