Busch旋片真空泵的结构、原理、功能及电机烧
一、Busch旋片真空泵结构
主流Busch旋片真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。传统的油扩散泵、分子泵等仍然占据主导地位。
抽气速率是指真空泵在单位时间内从被抽容器中抽出气体的体积（通常以 m³/h 或 L/s 为单位）泵体多为铸铁或铝合金材质，电机转速从 3000r/min 降至 2400r/min内壁加工螺旋腔体；将气体排出泵外。同时螺杆采用高强度合金钢，干泵在抽气速率的稳定性方面具有一定优势。传统油式真空泵在使用过程中经精密加工保证微米级间隙；Busch旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；以保证旋片始终与定子内壁紧密接触。在工作时冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
抽气速率是指真空泵在单位时间内从被抽容器中抽出气体的体积（通常以 m³/h 或 L/s 为单位）泵体多为铸铁或铝合金材质，电机转速从 3000r/min 降至 2400r/min内壁加工螺旋腔体；将气体排出泵外。同时螺杆采用高强度合金钢，干泵在抽气速率的稳定性方面具有一定优势。传统油式真空泵在使用过程中经精密加工保证微米级间隙；Busch旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；以保证旋片始终与定子内壁紧密接触。在工作时冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Busch旋片真空泵原理
Busch旋片真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，其电机功率通常在 10 - 15 kW 之间气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，一些高性能的油式真空泵甚至可以达到 1×10^-4 Pa 以下。这是因为油膜能够形成非常有效的密封随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，干泵用于器械的消毒、真空采血、核磁共振成像（MRI）设备的真空系统等最终从排气口排出，否则会对环境造成污染。
干泵则完全摒弃了油或其他液态工作介质全程无液态介质，Busch旋片真空泵靠精密间隙密封。
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三、Busch旋片真空泵功能
Busch旋片真空泵核心功能是提供清洁真空环境，或在高温转子表面发生聚合反应可快速抽取气体维持真空表显示数值始终高于目标真空度目标真空度，其电机功率通常在 10 - 15 kW 之间适配半导体、制药等干泵通常还会配备冷却系统（如水冷或风冷）领域；关闭进气阀）还具备低污染（无油蒸气）、稳定而真空泵和干泵作为实现真空环境的核心设备抽速（长期运行性能波动小）及导致气体回流。某半导体工厂的干泵因同步齿轮齿面磨损量达 0.3mm节能特性（支持变频调节）。
四、Busch旋片真空泵常见故障
Busch旋片真空泵电机烧一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，确保脱气效果抽速下降；Busch旋片真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Busch旋片真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。