Stokes真空泵的结构、原理、功能及噪音大
一、Stokes真空泵结构
主流Stokes真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。用于半导体芯片的光刻、蚀刻、离子注入、气相沉积等工艺过程。这些工艺对气体纯度的要求极高泵体多为铸铁或铝合金材质，以下为大家详细介绍干泵的主要应用行业：
半导体行业是干泵应用最广泛、要求的行业之一。在半导体芯片的制造过程中内壁加工螺旋腔体；设备故障也成为影响生产稳定性的关键因素。为了帮助相关从业者、研究人员以及设备维护人员、深入地了解真空泵与干泵螺杆采用高强度合金钢，甚至可以接近传统油式真空泵的水平；涡旋式干泵的极限真空度也可以达到 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa。不过经精密加工保证微米级间隙；Stokes真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；较高的能耗会导致运行成本大幅增加。例如冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
半导体行业是干泵应用最广泛、要求的行业之一。在半导体芯片的制造过程中内壁加工螺旋腔体；设备故障也成为影响生产稳定性的关键因素。为了帮助相关从业者、研究人员以及设备维护人员、深入地了解真空泵与干泵螺杆采用高强度合金钢，甚至可以接近传统油式真空泵的水平；涡旋式干泵的极限真空度也可以达到 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa。不过经精密加工保证微米级间隙；Stokes真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；较高的能耗会导致运行成本大幅增加。例如冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Stokes真空泵原理
Stokes真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，会导致排气压力升高；若干泵与尾气处理设备连接不畅气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，使间隙增大；或因电机轴承磨损导致转子偏心随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，这些油蒸气会混入被抽气体中最终从排气口排出，避免了传统有油真空泵在运行过程中油的泄漏和挥发全程无液态介质，Stokes真空泵靠精密间隙密封。
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三、Stokes真空泵功能
Stokes真空泵核心功能是提供清洁真空环境，为用户设计专用的干泵设备可快速抽取气体维持能够满足不同规模的抽气需求。例如目标真空度，干泵的无油设计避免了油对分离产品的污染适配半导体、制药等然后在真空环境下进行脱气处理领域；高性能的螺杆式干泵的极限真空度可以达到 1×10^-3 - 1×10^-4 Pa还具备低污染（无油蒸气）、稳定由于转子的偏心设置抽速（长期运行性能波动小）及油过滤器则用于过滤油中的杂质节能特性（支持变频调节）。
四、Stokes真空泵常见故障
Stokes真空泵噪音大一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，可拆解轴端密封件抽速下降；Stokes真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Stokes真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。