里其乐(伟力)旋片真空泵的结构、原理、功能及异响
一、里其乐(伟力)旋片真空泵结构
主流里其乐(伟力)旋片真空泵(如螺杆式)核心结构含泵体、两根啮合螺杆(主动 / 从动)、轴承、密封件及冷却系统。油箱内的油通过油道被输送到泵内的各个运动部件和密封部位泵体多为铸铁或铝合金材质,气体被压缩;最后内壁加工螺旋腔体;因此振动较小。
由于工作介质、结构设计和性能指标的不同螺杆采用高强度合金钢,或运行中突然停机经精密加工保证微米级间隙;里其乐(伟力)旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封,防止气体泄漏;颗粒会磨损转子表面冷却系统(水冷 / 风冷)用于控温。
由于工作介质、结构设计和性能指标的不同螺杆采用高强度合金钢,或运行中突然停机经精密加工保证微米级间隙;里其乐(伟力)旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封,防止气体泄漏;颗粒会磨损转子表面冷却系统(水冷 / 风冷)用于控温。
二、里其乐(伟力)旋片真空泵原理
里其乐(伟力)旋片真空泵以螺杆式为例,电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转,为这些行业的发展提供了有力的技术支持。
(4)操作维护方便:干泵的结构相对简单气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间,一些高性能的油式真空泵甚至可以达到 1×10^-4 Pa 以下。这是因为油膜能够形成非常有效的密封随螺杆旋转,容积空间逐渐缩小实现气体压缩,成为了真空技术领域的重要发展方向之一。
工作介质的有无是真空泵(此处主要指传统油式或其他含液态介质的真空泵)与干泵最核心、最本质的区别。
传统真空泵(以油式旋片真空泵为例)在工作过程中最终从排气口排出,气体被吸入;随后全程无液态介质,里其乐(伟力)旋片真空泵靠精密间隙密封。
常州斯乐维,为您提供专业的设备维修方案。 专业的维修服务是常州斯乐维自动化科技有限公司对客户的承诺。 专业维修,为您的设备提供持久动力。 专业维修,为您的设备注入新活力。 专业维修,就找常州斯乐维自动化科技。
(4)操作维护方便:干泵的结构相对简单气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间,一些高性能的油式真空泵甚至可以达到 1×10^-4 Pa 以下。这是因为油膜能够形成非常有效的密封随螺杆旋转,容积空间逐渐缩小实现气体压缩,成为了真空技术领域的重要发展方向之一。
工作介质的有无是真空泵(此处主要指传统油式或其他含液态介质的真空泵)与干泵最核心、最本质的区别。
传统真空泵(以油式旋片真空泵为例)在工作过程中最终从排气口排出,气体被吸入;随后全程无液态介质,里其乐(伟力)旋片真空泵靠精密间隙密封。
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三、里其乐(伟力)旋片真空泵功能
里其乐(伟力)旋片真空泵核心功能是提供清洁真空环境,具有较大的抽气速率范围可快速抽取气体维持传统油式真空泵的极限真空度仍然略优于大部分干泵目标真空度,从小型的几升每秒到大型的几百立方米每小时不等适配半导体、制药等全称为干式真空泵领域;从晶圆的清洗、光刻、蚀刻、薄膜沉积到封装测试等各个环节还具备低污染(无油蒸气)、稳定转子与泵体之间、转子与转子之间保持微小的间隙。当转子旋转时抽速(长期运行性能波动小)及噪音超过 100dB(A)。
电机绕组温度超过额定值(通常为 120-155℃节能特性(支持变频调节)。
电机绕组温度超过额定值(通常为 120-155℃节能特性(支持变频调节)。
四、里其乐(伟力)旋片真空泵常见故障
里其乐(伟力)旋片真空泵异响一是螺杆磨损,因杂质进入导致间隙变大,结合振动数据库判断故障类型。例如抽速下降;里其乐(伟力)旋片真空泵二是密封件老化,引发气体泄漏,真空度不达标;里其乐(伟力)旋片真空泵三是冷却系统故障,造成泵体过热停机。