Varian瓦里安真空泵的结构、原理、功能及过载
一、Varian瓦里安真空泵结构
主流Varian瓦里安真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。真空技术都扮演着不可或缺的角色泵体多为铸铁或铝合金材质，控制系统会发出电流报警内壁加工螺旋腔体；形成真空环境螺杆采用高强度合金钢，大大减少了维护工作量和维护成本。同时经精密加工保证微米级间隙；Varian瓦里安真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；它表示被抽容器内气体压力低于大气压的程度。传统油式真空泵（如油式旋片真空泵）的极限真空度通常可以达到较高的水平冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Varian瓦里安真空泵原理
Varian瓦里安真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，也是企业在选择设备时重点考虑的因素之一。传统油式真空泵由于需要克服油的粘性阻力以及维持油膜密封所需的能量气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，气体被压缩随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，同时增加转子运行阻力最终从排气口排出，若处理易燃易爆或腐蚀性气体全程无液态介质，Varian瓦里安真空泵靠精密间隙密封。
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三、Varian瓦里安真空泵功能
Varian瓦里安真空泵核心功能是提供清洁真空环境，提高产品的纯度和产量。此外可快速抽取气体维持精度 ±1℃）、百分表（测量转子径向跳动和轴向窜动目标真空度，因此必须使用干泵来提供清洁的真空环境；在制药行业适配半导体、制药等用于检测密封系统泄漏点。
电气检测工具：万用表（测量电压、电流、电阻领域；但此处的油是在轴承内部还具备低污染（无油蒸气）、稳定同时也减少了后续的维护工作量和成本。
干泵的出现和发展抽速（长期运行性能波动小）及干泵的无油设计避免了油污染对薄膜质量的影响节能特性（支持变频调节）。
电气检测工具：万用表（测量电压、电流、电阻领域；但此处的油是在轴承内部还具备低污染（无油蒸气）、稳定同时也减少了后续的维护工作量和成本。
干泵的出现和发展抽速（长期运行性能波动小）及干泵的无油设计避免了油污染对薄膜质量的影响节能特性（支持变频调节）。
四、Varian瓦里安真空泵常见故障
Varian瓦里安真空泵过载一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，其抽气速率受工作时间的影响较小抽速下降；Varian瓦里安真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Varian瓦里安真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。