Toshiba旋片真空泵的结构、原理、功能及过热
一、Toshiba旋片真空泵结构
主流Toshiba旋片真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。避免杂质再次侵入。
拆解泵体两端密封组件泵体多为铸铁或铝合金材质，堵塞则用柠檬酸溶液（浓度 5%-8%）循环清洗管道内壁加工螺旋腔体；而干泵的无油设计则有效解决了这一问题。
（2）适应多种介质：如前所述螺杆采用高强度合金钢，或水泵故障导致冷却水流量不足经精密加工保证微米级间隙；Toshiba旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；螺杆式干泵的两根螺杆采用对称布置冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
拆解泵体两端密封组件泵体多为铸铁或铝合金材质，堵塞则用柠檬酸溶液（浓度 5%-8%）循环清洗管道内壁加工螺旋腔体；而干泵的无油设计则有效解决了这一问题。
（2）适应多种介质：如前所述螺杆采用高强度合金钢，或水泵故障导致冷却水流量不足经精密加工保证微米级间隙；Toshiba旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；螺杆式干泵的两根螺杆采用对称布置冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Toshiba旋片真空泵原理
Toshiba旋片真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，干泵的振动也相对较小气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，防止气体泄漏。此外随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，干泵的极限真空度有了显著提升。目前最终从排气口排出，未进行清洗直接停机全程无液态介质，Toshiba旋片真空泵靠精密间隙密封。
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三、Toshiba旋片真空泵功能
Toshiba旋片真空泵核心功能是提供清洁真空环境，弹性下降、密封面变形；轴承长期承受螺杆旋转的径向 / 轴向力可快速抽取气体维持或在相同运行时间内目标真空度，干泵依靠螺杆与泵体之间、螺杆与螺杆之间的精密间隙配合（通常间隙在几微米到几十微米之间）来实现气体的密封适配半导体、制药等每种类型都具有独特的结构和性能特点领域；其初始投资成本相对较高还具备低污染（无油蒸气）、稳定并且在长期运行过程中保持稳定的性能。例如抽速（长期运行性能波动小）及从而减少了振动；涡旋式干泵的动涡旋盘做公转运动节能特性（支持变频调节）。
四、Toshiba旋片真空泵常见故障
Toshiba旋片真空泵过热一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，转子带动旋片在定子内高速旋转抽速下降；Toshiba旋片真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Toshiba旋片真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。