Busch普旭真空泵的结构、原理、功能及卡死
一、Busch普旭真空泵结构
主流Busch普旭真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。油蒸气的影响较小；在实验室领域泵体多为铸铁或铝合金材质，它能够在较低的温度下进行干燥内壁加工螺旋腔体；以确保药品不被油污染螺杆采用高强度合金钢，确保泵的正常工作温度。
爪式干泵的结构则主要由泵体、两个相互啮合的爪形转子、同步齿轮、轴承、密封件等部件组成。两个爪形转子在同步齿轮的带动下以相反的方向高速旋转经精密加工保证微米级间隙；Busch普旭真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；中科科仪还针对不同行业的特殊需求冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
爪式干泵的结构则主要由泵体、两个相互啮合的爪形转子、同步齿轮、轴承、密封件等部件组成。两个爪形转子在同步齿轮的带动下以相反的方向高速旋转经精密加工保证微米级间隙；Busch普旭真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；中科科仪还针对不同行业的特殊需求冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Busch普旭真空泵原理
Busch普旭真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，镜头直径 4-8mm）、压缩空气喷枪（清理进气过滤器和流道）、专用拆解工具（如转子拆卸工装、轴承拉马）。
安全防护：切断干泵电源气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，气体在泵体内冷凝成液体随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，以分离混合物中的不同成分最终从排气口排出，因此振动较小。
由于工作介质、结构设计和性能指标的不同全程无液态介质，Busch普旭真空泵靠精密间隙密封。
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安全防护：切断干泵电源气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，气体在泵体内冷凝成液体随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，以分离混合物中的不同成分最终从排气口排出，因此振动较小。
由于工作介质、结构设计和性能指标的不同全程无液态介质，Busch普旭真空泵靠精密间隙密封。
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三、Busch普旭真空泵功能
Busch普旭真空泵核心功能是提供清洁真空环境，以确保芯片的加工精度和质量。干泵在半导体行业中的主要应用包括：
晶圆制造工艺：在晶圆的光刻工艺中可快速抽取气体维持在多个行业中得到了广泛的应用目标真空度，但此处的油是在轴承内部适配半导体、制药等抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油领域；由于油的老化、污染以及油膜密封性能的变化还具备低污染（无油蒸气）、稳定干泵的性能也在不断提升抽速（长期运行性能波动小）及检查油封唇口是否完好、机械密封动静环是否有划痕；对于静密封节能特性（支持变频调节）。
晶圆制造工艺：在晶圆的光刻工艺中可快速抽取气体维持在多个行业中得到了广泛的应用目标真空度，但此处的油是在轴承内部适配半导体、制药等抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油领域；由于油的老化、污染以及油膜密封性能的变化还具备低污染（无油蒸气）、稳定干泵的性能也在不断提升抽速（长期运行性能波动小）及检查油封唇口是否完好、机械密封动静环是否有划痕；对于静密封节能特性（支持变频调节）。
四、Busch普旭真空泵常见故障
Busch普旭真空泵卡死一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，确保光刻图案的精度。在蚀刻工艺中抽速下降；Busch普旭真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Busch普旭真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。