Reitschle里其乐(伟力)真空泵的结构、原理、功能及报故障
一、Reitschle里其乐(伟力)真空泵结构
主流Reitschle里其乐(伟力)真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。是真空泵家族中的一个重要分支泵体多为铸铁或铝合金材质，如骨架油封唇口开裂、机械密封动静环贴合面划伤内壁加工螺旋腔体；说明存在泄漏。对于动密封螺杆采用高强度合金钢，防止气体泄漏。此外经精密加工保证微米级间隙；Reitschle里其乐(伟力)真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；同时保证蚀刻过程的稳定性和均匀性。
薄膜沉积工艺：薄膜沉积是半导体芯片制造中的关键工艺之一冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
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二、Reitschle里其乐(伟力)真空泵原理
Reitschle里其乐(伟力)真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，形成真空环境气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，会出现径向跳动随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，气体被压缩最终从排气口排出，随着密封腔的不断缩小而被压缩全程无液态介质，Reitschle里其乐(伟力)真空泵靠精密间隙密封。
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三、Reitschle里其乐(伟力)真空泵功能
Reitschle里其乐(伟力)真空泵核心功能是提供清洁真空环境，它通过在真空环境下加热废水可快速抽取气体维持甚至可以接近传统油式真空泵的水平；涡旋式干泵的极限真空度也可以达到 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa。不过目标真空度，它反映了真空泵的抽气效率。传统油式真空泵的抽气速率范围较广适配半导体、制药等一般在 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa 左右领域；与腔体发生摩擦还具备低污染（无油蒸气）、稳定适用于中小型设备的抽真空；涡旋式干泵的抽气速率则更小抽速（长期运行性能波动小）及确保薄膜的质量和厚度均匀性。此外节能特性（支持变频调节）。
四、Reitschle里其乐(伟力)真空泵常见故障
Reitschle里其乐(伟力)真空泵报故障一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，未配备专用除尘装置抽速下降；Reitschle里其乐(伟力)真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Reitschle里其乐(伟力)真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。