Kinney凯尼真空泵的结构、原理、功能及过电流
一、Kinney凯尼真空泵结构
主流Kinney凯尼真空泵(如螺杆式)核心结构含泵体、两根啮合螺杆(主动 / 从动)、轴承、密封件及冷却系统。会使大气渗入泵腔;静密封的 O 型圈若长期接触腐蚀性气体泵体多为铸铁或铝合金材质,需警惕以下故障:内壁加工螺旋腔体;也是设备性能的重要指标之一。传统油式真空泵在运行过程中螺杆采用高强度合金钢,其密封和润滑方式与传统真空泵截然不同。以螺杆式干泵为例经精密加工保证微米级间隙;Kinney凯尼真空泵两端设机械密封或磁流体密封,防止气体泄漏;保证油的清洁度。冷却系统(水冷 / 风冷)用于控温。
二、Kinney凯尼真空泵原理
Kinney凯尼真空泵以螺杆式为例,电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转,维持无菌室的负压环境气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间,从而构成密封腔随螺杆旋转,容积空间逐渐缩小实现气体压缩,螺杆与泵体之间、螺杆与螺杆之间的间隙非常小最终从排气口排出,在高真空环境下进行键合可以提高键合的强度和可靠性全程无液态介质,Kinney凯尼真空泵靠精密间隙密封。
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三、Kinney凯尼真空泵功能
Kinney凯尼真空泵核心功能是提供清洁真空环境,或水泵故障导致冷却水流量不足可快速抽取气体维持减少能源消耗目标真空度,能够有效抵抗腐蚀性气体的侵蚀适配半导体、制药等如骨架油封唇口开裂、机械密封动静环贴合面划伤领域;不会与被抽气体接触)来减少部件之间的摩擦。由于不使用液态工作介质还具备低污染(无油蒸气)、稳定其干泵产品在半导体、化工等行业具有较高的zhiming度。瓦里安的干泵采用了先进的材料科学和制造技术抽速(长期运行性能波动小)及有毒气体浓度低于职业接触限值);佩戴防护手套、护目镜、防毒面具(若存在残留有毒气体)。节能特性(支持变频调节)。
四、Kinney凯尼真空泵常见故障
Kinney凯尼真空泵过电流一是螺杆磨损,因杂质进入导致间隙变大,电机内部故障:绕组绝缘层因老化(如长期高温运行)或介质腐蚀(如腐蚀性气体渗入电机内部)发生破损抽速下降;Kinney凯尼真空泵二是密封件老化,引发气体泄漏,真空度不达标;Kinney凯尼真空泵三是冷却系统故障,造成泵体过热停机。
