超纯氧是指氧气浓度高达百分之99.9999的气体，高纯氧气主要用于半导体器件的热氧化、扩散、化学气相沉积及等离子蚀刻等工艺。氧气也被用作氧化源与产生高纯水的反应剂。 对于MOS场效应器件，采用干法氧化需要采用高纯氧气，氧化层结构致密，正电荷少，耐压高。 高纯氧气还可用于光导纤维、彩色显像管制造并作标准气、校正气和零点气等。 助燃压缩气体，无毒。 但暴露在高浓氧中，对肺和中枢神经有不良影响。 所有可燃物质、特别是油和油脂，不得与高浓度氧接触。
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