高纯氪气化学式Kr，属于超高纯稀有惰性气体，经过低温多级精馏、催化脱氧、深度脱水、高精度过滤多重工艺精制，严格脱除氩气、氖气、氮气、氧气、碳氢化合物、水分以及固体颗粒物等痕量杂质，无色无味、无毒阻燃，化学性质极度稳定。高纯氪气等离子体特性均匀，绝缘耐压强度高，放电光谱纯净，高温高压环境下组分稳定不变，不会产生多余副反应。广泛应用于半导体干法刻蚀、高端密闭光源、航天探测仪器、超高灵敏度真空检漏、特种等离子体科研、高端光电器件制造等高精度领域。凭借极低杂质含量，可保障刻蚀均匀性，提升精密仪器运行精度。
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