超高纯氧气经过多级精馏、深度净化过滤处理，纯度可达99.999%以上，严格管控微量氩气、水分、碳氢化合物、颗粒物等杂质，露点极低。气体助燃性极强，化学性质活泼，凭借超高洁净度，广泛应用于半导体晶圆制造、光纤预制棒烧制、光伏单晶拉制、特种玻璃熔炼、科研实验、精密热处理等高精度行业。超高纯度氧气是核心工艺气源，气源纯净度直接决定产品良品率，一旦杂质超标，极易产生缺陷、斑点，造成材料报废。
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