在当今的高端装备制造、电子电气以及表面处理行业中,薄膜沉积技术正在经历前所未有的技术变革。高质量的薄膜不仅要求成分极其准确,更对溅射源——靶材的各项物理指标提出了严苛要求。广州市尤特新材料有限公司作为成熟的新材料供应商,致力于为全球工业用户提供高纯度(99.995%以上)、高致密度的优质钛靶材。
两种主力规格,准确对接生产线。为了适应不同行业及设备的安装和工艺需求,我们重点推出两类规格的钛靶:
旋转靶材:圆管状结构,配合磁控溅射设备的旋转机构使用。这种结构使靶材表面各处受热与消耗十分均匀,避免了传统平面靶易出现的“跑道槽”现象,材料利用率大幅提高,是规模化连续工业生产的不错选择。
平面靶材:板状结构,适用于精密、多层复杂薄膜的溅射制备。其磁场配置灵活,能够实现对薄膜微观结构和结晶取向的精细调控。
两大核心成型工艺的技术深度:尤特新材料对钛靶制造工艺精益求精,主要采用以下两种工艺满足不同的机械性能及微观组织要求:
锻造轧制工艺:通过精密的热机械处理(TMP),使原本粗大的铸态钛晶粒发生剧烈的塑性变形。通过多次重结晶,靶材内部晶粒被细化,平均晶粒度达到微米级,且结晶取向分布均匀。这能够显著降低溅射过程中的颗粒飞溅,提高薄膜的厚度均匀性。
冷喷涂工艺:利用超音速气流带动金属粉末在固体基质上发生剧烈塑性变形而沉积成型。由于整个过程在极低的温度下进行,完全避免了高活性钛金属在高温下吸收氧、氮等有害杂质,确保了高致密度和超高的热传导效率。
