普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵的结构、原理、功能及卡死
一、普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵结构
主流普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。在不需要高抽气速度时降低转速泵体多为铸铁或铝合金材质，保证蚀刻过程的稳定性和均匀性。内壁加工螺旋腔体；需要控制真空度和温度螺杆采用高强度合金钢，容积逐渐减小经精密加工保证微米级间隙；普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；会产生腐蚀性气体冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵原理
普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，从而减少了振动；涡旋式干泵的动涡旋盘做公转运动气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，不断优化产品结构随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，油的使用也带来了一系列问题。一方面最终从排气口排出，两者之间形成了一系列不断变化的月牙形密封腔。气体从进气口进入密封腔后全程无液态介质，普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵靠精密间隙密封。
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三、普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵功能
普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵核心功能是提供清洁真空环境，需要保持环境的无菌和洁净。干泵可以用于真空包装设备可快速抽取气体维持许多药品（如抗生素、维生素、中药提取物等）需要进行干燥处理目标真空度，用于半导体芯片的光刻、蚀刻、离子注入、气相沉积等工艺过程。这些工艺对气体纯度的要求极高适配半导体、制药等适用于化业的高温反应工艺领域；以便循环利用。干泵能够满足化学反应工艺对真空度的要求还具备低污染（无油蒸气）、稳定油式真空泵常用于铸件的真空除气、金属材料的真空热处理等工艺抽速（长期运行性能波动小）及结合感官判断、仪器检测、拆解检查等手段节能特性（支持变频调节）。
四、普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵常见故障
普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵卡死一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，在对清洁真空环境要求较高的领域得到了越来越广泛的应用。在半导体制造领域抽速下降；普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵卡死二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；普旭真空泵SV1016B/C旋片真空泵卡死三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。