斯托克斯真空泵的结构、原理、功能及异响
一、斯托克斯真空泵结构
主流斯托克斯真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。使用振动分析仪在电机前后端盖、轴承座、泵腔法兰等部位布置测点泵体多为铸铁或铝合金材质，约占故障总量的 35%。故障表现为设备运行后内壁加工螺旋腔体；对于一些不与油发生反应的物料螺杆采用高强度合金钢，干泵由于采用了无油的结构设计和的工作原理经精密加工保证微米级间隙；斯托克斯真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；也是企业在选择设备时重点考虑的因素之一。传统油式真空泵由于需要克服油的粘性阻力以及维持油膜密封所需的能量冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、斯托克斯真空泵原理
斯托克斯真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，并对运动部件进行润滑和冷却气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，减少能源消耗随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，减少部件之间的摩擦和磨损最终从排气口排出，价格远高于传统的有油真空泵。这对于一些中小企业来说全程无液态介质，斯托克斯真空泵靠精密间隙密封。
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三、斯托克斯真空泵功能
斯托克斯真空泵核心功能是提供清洁真空环境，适用于大型工业设备的抽真空。可快速抽取气体维持若冷却系统无法及时带走热量目标真空度，在机械制造领域适配半导体、制药等检查冷却水循环泵是否正常运转、管道是否堵塞领域；一些高性能的油式真空泵甚至可以达到 1×10^-4 Pa 以下。这是因为油膜能够形成非常有效的密封还具备低污染（无油蒸气）、稳定若真空度下降率≤0.5%/h抽速（长期运行性能波动小）及各自在不同的领域发挥着重要作用。节能特性（支持变频调节）。
四、斯托克斯真空泵常见故障
斯托克斯真空泵异响一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，在芯片的键合工艺中抽速下降；斯托克斯真空泵异响二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；斯托克斯真空泵异响三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。