在化学机械抛光（CMP）工序之后，晶圆表面残留的金属杂质和研磨颗粒需要被彻底清除。电子级草酸（Oxalic Acid）作为一种有机酸螯合剂，在这一环节中扮演着金属杂质“捕手”的角色-。
电子级草酸能够与晶圆表面的金属离子形成稳定的络合物，将其从硅片表面“带走”-。含有草酸的清洗液能够有效去除CMP后晶圆上吸附的金属杂质，且不会腐蚀金属布线-。这一特性使得草酸在铜互连工艺的后清洗环节具有的价值-。
山东安达化工科技生产的电子级草酸，经过深度提纯处理，金属离子含量控制在电子级标准范围之内-。产品可加工成不同浓度的水溶液，应用于电子材料加工、线路板清洗等环节-。在半导体基板的清洗工艺中，草酸与柠檬酸等有机酸配合使用，能够增强对微小粒子与金属离子的清除能力-。
除了半导体领域，电子级草酸还在新能源行业有广泛应用——用于草酸亚铁、磷酸铁锂、锂电池组及电子试剂的制备-。山东安达以稳定的产品质量和可靠的供应能力，为多个高端制造领域提供电子级草酸解决方案。