电子级甲基异戊基酮(MIAK)——光刻胶边缘 bead 去除的高效溶剂
甲基异戊基酮(MIAK,又称5-甲基-2-己酮)因其对光刻胶优良的溶解性和适中的挥发速率,被广泛用于晶圆边缘光刻胶珠(Edge Bead)的去除工序(EBR)。其相较于更低的挥发速率有助于在EBR喷嘴移动过程中维持稳定的溶解能力。山东安达化工电子级MIAK的纯度≥99.0%,水分≤0.03%,酸度(以乙酸计)≤0.01%,不挥发物≤10ppm。
该产品的关键杂质——甲基异丁基酮(MIBK)和4-甲基-2-戊醇的残留需严格控制在较低水平。MIBK与MIAK沸点接近(117°C vs 144°C),分离难度较大。山东安达化工采用高效精馏与化学氧化联合除杂工艺,将MIBK含量控制在0.3%以下,醇类杂质控制在0.1%以下,确保产品在EBR使用过程中不会因杂质挥发速率差异导致边缘处理不均匀。
在OLED器件的有机发光层蒸镀掩膜版清洗中,MIAK也展现出对有机发光材料较好的溶解清洗能力。山东安达化工可为掩膜版清洗客户提供高批次一致性的产品,每批次留样保存,方便客户追溯。
