山东安达化工科技有限公司通过分子筛耦合膜分离工艺,生产医药级与电子级二甲基亚砜(DMSO)。电子级DMSO(G3级清洗剂)金属离子总量≤50ppb,≥0.1μm颗粒物≤20个/mL。
在电子制造领域,DMSO展现出多重效能:EUV工艺兼容性方面,对金属氧化物刻蚀速率<0.1Å/min(铜表面);清洗效率方面,剥离193nm光刻胶速度比NMP快40%。在显示面板除胶工艺中,对PI膜溶胀率<0.3%(30℃/10min);配合分子筛再生系统,使用寿命可延长5倍。
DMSO对有机物、无机物、聚合物具有一次清除的功能,且易于回收,在电子元件、芯片、集成电路清洗中大量使用-。山东安达采用分子筛深度脱水(静态水吸附量≥22%)、0.2μm PTFE膜除颗粒等纯化工艺,产品以氮封不锈钢罐包装(露点≤-40℃),Class 1000洁净室分装。
