ITO旋转靶与平面靶选型:适配产线的关键考量

发布时间:2026-09-15 17:58  点击:1次
ITO旋转靶与平面靶选型:适配产线的关键考量

在ITO透明导电薄膜的磁控溅射生产中,靶材形态的选择直接影响镀膜效率、材料利用率和运营成本。ITO靶材主要有旋转靶和平面靶两种形态,各有其适用的产线场景。

旋转靶材通常为管状结构,在溅射过程中缓慢旋转,靶面受离子轰击均匀,材料利用率相对较高,适合大面积连续镀膜产线,如平板显示面板的规模化生产。旋转靶对冷却和绑定工艺要求较高,需要确保靶材与背管之间导热良好。

平面靶材则为板状结构,安装和更换较为灵活,适合研发线、多品种小批量产线或对靶材尺寸有特殊要求的场景。平面靶的溅射区域相对集中,材料利用率通常低于旋转靶,但在工艺调试和品种切换方面具有便利性。

广州市尤特新材料有限公司(UV Tech Material LTD.)的ITO靶材提供旋转靶材与平面靶材两种规格,纯度≥99.99%,典型相对密度≥99.5%,采用冷等静压+高温烧结+绑定工艺。客户可根据自身溅射设备类型、镀膜面积和产能规划选择适配的靶材形态。依托100余项专利技术积淀和35000多平方米的标准化生产基地,尤特新材已具备冷等静压成型与高温烧结的规模化量产能力,可提供从材料定制、背板绑定到溅射应用的全链条技术支持。

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